SYSTÈMES COMPACTS ET DE TABLE
Les systèmes Compacts et de Table de Plasmionique sont des outils de recherche peu encombrants et polyvalents. Ces systèmes peuvent intégrer toutes les fonctionnalités des systèmes PVD, PECVD et hybrides ayant un grand volume, y compris l'automatisation des processus, l'acquisition de données ainsi que l'accès à distance. Ces systèmes peuvent également être intégrés dans une boîte à gants.
Les outils de recherche avancée consacrés aux matériaux à un coût abordable sont la marque de fabrique de la série des systèmes Compacts et de table de Plasmionique. Ils sont dédiés aux applications PVD, CVD, PECVD, PE et RIE.
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Ces systèmes, malgré leurs petites tailles, intègrent les outils les plus sophistiqués et avancés disponibles dans l'industrie. Ils conviennent parfaitement à la formation de la prochaine génération des ingénieurs des procédés.
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Outils de dépôtet traitement de surface disponibles :
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MAGNION pulvérisation magnétron :
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Cible : 1"- 3" en diamètre, planaire, conductrice ou diélectrique ;
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Configuration magnétique équilibrée ou déséquilibrée selon les spécifications requises ;
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Polarisation radiofréquence (RF) ou continue (DC) ;
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Volet (optionel) ;
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Refroidissement à eau.
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Réacteurs FLARION :
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ICP or CCP reactors ;
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Polarisation radiofréquence 13.56 MHz, continue or pulsé ;
- Compatible avec les applications PECVD et de gravure.
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Évaporateur EVAD modules source inclus (selon les exigences):
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Bateaux, nacelles et filaments standards à haute températures pour les métaux ;
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Cellule d'effusion Knudsen (K-cell) pour l'évaporation des matériaux organiques à basse température.
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Hybrid PVD : Combinaison de magnétrons et d'évaporateurs.
