La série ATMOS intègre diverses technologies plasmas pour le traitement de surface en ligne de matériaux solides, tels que le bois, le plastique et les feuilles laminées de métal, de polymère, de textile et de papier.

 

Les technologies intégrées dans cette série comprennent :

• Sources plasmas : Décharge à barrière diélectrique ; sources plasma ICP, CCP et micro-ondes, telles que Surfatron, etc ;

• PVD : Pulvérisation cathodique magnétron cathodes, évaporateurs thermiques et faisceau d'électrons (e-beam) ;

• Dépôt et synthèse de nanoparticules : PVD, CVD, PECVD, Spray ;

• Sources de faisceaux d'ions : 100 eV à 3 keV,  nettoyage de surface ;

• Four : CVD ;

• Laser : PLD, modelage de surface, etc. ;

• Diagnostics : Surveillance de la température, de la spectroscopie, de l'épaisseur et des appareils fournis par l'utilisateur.