• Logiciel de surveillance et de contrôle basé sur LabView® ;

• Interface utilisateur graphique intuitive ;

• Programmation des différentes phases pour le processus (recettes) ;

• Visualisation et enregistrement de données ;

• Mode "programme" pour la programmation de processus en plusieurs étapes ;

• Protection du système par des alarmes et verrouillages pour prévenir les conditions d'utilisation dangereuses ;

• Visualisation en temps réel et enregistrement des données ;

• Interface d'assistance à distance ;

• Spectroscopie d'émission optique et/ou de masse (en option) ;

• Source ICP post-décharge en option pour améliorer le dépôt par pulvérisation réactive ;

• Alimentation indépendante et contrôle intégré inclus. ​

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• Chambre en acier inoxydable cylindrique, verticale ou horizontale ;

• Conception de porte d'accès ou de chambre cloisonnée ;

• Vide jusqu'à 10^-8 Torr obtenu avec pompe turbomoléculaire assistée par pompe mécanique à palettes (humide) ou à volutes (sèche) ;

• Fonctionnement avec oxygène ou gaz corrosifs (en option) ;

• Vacuomètres : manomètre à large plage et manomètre capacitif pour le contrôle de la pression de process ;

• Système de gestion des gaz de la série FLOCON pour plusieurs gaz ou vapeurs, avec régulateurs de débit massique, entièrement automatisés et programmables pour l'adaptation du mélange gazeux ;

• Nombre lignes de gas et de régulateurs de débit massique avec vannes d'arrêt selon les exigences du client ;

• Conduite de purge/ventilation avec soupape de surpression de sécurité.

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• Taille et forme d'échantillon définsi par le cleint;

• Chauffage à plus de 850 ºC avec contrôle de température PID ou refroidissement ;

• Rotation motorisée et translation axiale motorisée ou manuelle ;

• Polarisation (RF ou DC) disponible ;

• Station de transfert d'échantillons à verrouillage de charge (en option).

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• Tailles cibles circulaires (diamètre) ou rectangulaires: 1", 2", 3" et 4" ;

• Polarisation avec RF (13,56 MHz), DC ou DC impulsionnel;

• Géométries magnétiques équilibrées ou déséquilibrées ;

• Boucliers et volets (shutters) contre la contamination croisée ;

• Option de position axiale ou d'angle de tête réglable

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• Électrique : typiquement 60/50Hz, 120 V monophasé à 380V  triphasé, 5 fils ;

• Eau de refroidissement : généralement 1-4 g/min, 17-30 ºC, selon le système ;

• Air comprimé : 40-80 psig (3-5 bar) ;

• Gaz de purge/ventilation : régulé ;

• Gaz de procédé : régulé(s) ;