FOURS HORIZONTAUX
Les fours tubulaires horizontaux CVD et PECVD de la série EVAD sont des unités très polyvalentes permettant le dépôt et la synthèse de divers types de matériaux à partir de sources gazeuses, vapeurs, liquides et solides. Les versions rotatives de nos fours horizontaux sont également utilisées pour le traitement et la synthèse de poudres.
Fours CVD horizontaux
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Ces fours offrent la possibilité de fonctionner avec une zone de chauffage simple ou des zones de chauffage multiples. Associés aux systèmes de gestion des flux gaz, vapeur et liquide de la série FLOCON, ils offrent une flexibilité inégalée. L'inclinaison du four pour le chargement et le déchargement du réservoir de poudre est disponible en option.
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Fours PECVD horizontaux
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La combinaison des sources plasmas ICP de la série PLUME avec le four permet la conversion du système en un four PECVD pour la synthèse PECVD ou PE-ALD sur de grandes surfaces.
