Form-Plasma Reactor | PLASMIONIQUE 2019

Guide de sélection : réacteur plasma

Nom

Affiliation et Profession

Courriel

Téléphone

Base

Description générale

Couplage

ICP (inductif)

CCP (capacitif)

Puissance RF maximale (en Watts)

Entre 120W et 3000W

Port-Substrat

Taille du substrat (en pouces)

Tension de polarisation (en Volts)

Besoins en chauffage et refroidissement

He Backplate

Flux de gaz et contrôle de pression

Nombre de lignes de gaz

Flux de gaz maximal par ligne (en sccm)

Gamme de pression d'opération (inclure les unités)

Pression résiduelle (inclure les unités)

Autres options

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