PRODUITS : Composants et Matériaux
En plus de nos systems clés en main, Plasmionique offre une varieté de composants et de materiaux, incluant des sources pour la déposition de couches minces, sources plasmas, manipulateurs de substrats, matériaux pour la déposition, controlleurs de procédés, composants micro-ondes et radiofréquences et des générateurs de puissance radiofréquence et continue.
Cathodes magnétrons
Sources d'évaporation
Port-substrats
et verrous de charge
Sources plasmas ICP
Sources plasmas micro-ondes
Matériaux de dépôt
Diagnostics plasma
Contrôle de flux des gaz, vapeurs et liquides
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Contrôle de puissance et de processus
La série de magnétrons MAGNION de Plasmionique est conçue pour la pulvérisation de cibles de forme planaire. Les configurations de champ magnétique équilibré, déséquilibré de type I ou de type II sont disponibles. Les spécifications générales sont incluses dans le pdf. Des conceptions personnalisées pour des applications spécifiques sont également possibles.
Faisceau d'électrons (e-beam), bateaux d'évaporation et cellules d'effusion.
Plasmionique peut fournir des port-substrats avec contrôle de la température, de la polarisation et de la position avec ou sans volet. Un sas de charge typique comprendrait une chambre en acier inoxydable, un ensemble de pompage turbomoléculaire avec une vanne manuelle ou pneumatique pour l'isolement, une jauge à pression et un bras de transfert à couplage magnétique.
Notre série PLUME peut être utilisée comme source de plasma à distance ou source de plasma immergée pour le traitement de surface en poudre ou en ligne. Combinée à un dispositif d'extraction et d'accélération, un faisceau ionique d'une densité de courant de l'ordre de 6 mA/cm^2 peut être généré.
Différentes configurations et plages de puissance sont disponibles. Consultez le pdf pour plus d'informations.
Nous offrons une variété de matériaux pour l'évaporation ou la pulvérisation. Veuillez nous contacter pour nous faire part de vos exigences. Le pdf ci-dessous contient une sélection de matériaux disponibles. Si vous ne voyez pas le matériau pur ou composite dont vous avez besoin, appelez-nous, ou Contactez-nous. Nous vous ferons parvenir un devis.
Spectroscopie d'émission, spectroscopie de masse, microbalances à quartz, sondes de Langmuir, etc.
Contactez-nous pour toute demande spécifique.
Débit précis, temporisation marche/arrêt et durées de marche. Disponible pour les gaz, liquides ou vapeurs individuels ou en tant que systèmes intégrés.
Régulateurs de température, actionneurs et plus encore.
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Plasmionique est également distributeur des générateurs micro-ondes Sairem :