Sources Pour Pulvérisateurs

Choisir votre magnétron

Plasmionique vous propose 3 catégories génériques de cathodes magnétron planaires pour pulvérisateurs:

    MAGNION-B
  • Une source magnétron balancée
    MAGNION-UI
  • Une source magnétron non-balancée de type 1
    MAGNION-UII
  • Une source magnétron non-balancée de type 2

Assemblages à un ou plusieurs magnétrons prêts pour l’installation

Un magnétron sur divers types de supports

Systèmes à plusieurs cibles, unités hybrides avec sources plasma

Différences entre les divers types de magnétrons

Les trois catégories de magnétrons se distinguent par la configuration de leurs lignes de champ magnétique.Le choix du magnétron peut influencer le processus de déposition Les magnétrons balancés, dans une très large mesure, confinent le plasma près de la surface de la cathode. Cela les rend utiles comme source générale pour la pulvérisation. Ils sont plus adaptés pour la déposition sur des polymères ou substrats qui requièrent d’être maintenus à une basse température de déposition. Les magnétrons non-balancés présentent des lignes de champ ouvertes permettant aux électrons de s’échapper de la zone de confinement du plasma (expansion du plasma).L’interaction du plasma en expansion avec le substrat influence les caractéristiques du dépôt.

Configurations typiques du champ magnétique pour les divers types de magnétron: Magnétron Balancé, Magnétron non-balancé Type2, Magnétron non-balancé Type1

Si vous n’êtes pas sûrs du type de magnétron adapté à vos applications, contactez-nous. Nous pouvons aussi concevoir sur mesure des magnétrons satisfaisant vos besoins spécifiques.

Conception de magnétrons pour une efficacité élevée d’utilisation de la cible

La configuration du champ magnétique influence aussi l’efficacité d’utilisation de la cible. Nos magnétrons non-balancés sont conçus pour produire des taux élevés d’utilisation de la cible. Par exemple pour une petite cathode de 2″ (non-balancé Type 2) un taux d’utilisation excédant 50% est atteint. Des cibles de plus grand diamètre donnent une efficacité d’utilisation beaucoup plus élevée.