Sous-systèmes et Composants

Générateurs micro-onde et composantes

  • Generateurs: 300 W, 1.2 kW, 2 kW, 6 kW,…
  • Circulateurs
  • Tuners
  • Coupleurs directionnels
  • Détecteurs de fuites micro-onde,Etc…

Contrôleurs et Sources d’alimentation pour le chauffage

Sources d’alimentation pour le chauffage avec contrôleur de température PID et une interface de sécurité Interlock intégrée.

Adapté à diverses applications incluant:

  • MBE
  • Chauffage du substrat
  • Four CVD
  • Cuisson au four, etc
  • etc…

Système intégré de contrôle de débit de gaz

  • Fabriqué pour vos applications spécifiques
  • API ou unités contrôlées par ordinateur pour un contrôle complet de débit, de vide et de procédés
  • Interface de sécurité Interlock intégrée

Supports de substrats et manipulateurs de cible

  • Fabriqués pour vos applications spécifiques incluant le contrôle en mode manuel ou automatique
  • Mouvements de rotation
  • Mouvements axiaux
  • Mouvements XY
  • Avec ou sans chauffage du substrat
  • Interface de sécurité Interlock intégrée